二手 DISCO RS-03-2-2 / 4P #9142774 待售

DISCO RS-03-2-2/ 4P是一种多功能研磨、研磨和抛光设备，用于生产薄硅和蓝宝石晶片。该系统设计用于同时执行多达四个研磨和抛光操作,能够在可重复的过程中生产高质量的晶片。该装置利用金刚石磨盘和一组实心抛光垫来达到所需的光洁度。晶圆的研磨和抛光是制造晶圆的重要步骤，用于半导体、光电等行业的各种技术。高精度和重复性是影响晶片整体质量的关键因素。RS-03-2-2/ 4P包括一个坚固的研磨和抛光平台以及必要的附件和控制。本机采用两个直线电机驱动的磨头，以及两个变频电机驱动的抛光头，每一个都提供可编程的速度和压力。磁头是独立操作的，使得在两个不同的进程之间进行插值等复杂操作成为可能。此外,此工具还包括一个两级工艺室,允许在加工过程中使用精确的温度、压力和溶液溷合物。该资产还包括减少伤害可能性的后部互锁模型、从工作台上清除废弃颗粒的集成真空设备等安全功能。此外，该系统还包括一个功能强大的控制单元，为用户提供实时的过程监控和可调参数。DISCO RS-03-2-2/ 4P能够实现Ra0.01 μ m或更小的表面粗糙度,以及0.001 μ m的表面平面度,使用户能够生产出各种用途的高质量晶片。此外，该机还配备了精密控制工具，为用户提供精密的过程控制。这些特性使RS-03-2-2/ 4P成为生产具有完美平整和完美的薄膜基板的强大而可靠的工具。