二手 DNS / DAINIPPON AS-2000 #293733191 待售
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ID: 293733191
晶圆大小: 8"
优质的: 1998
CMP System, 8"
Dual brush and top side brush chambers
Spin dry
Gases: DHF, NH4OH
(2) Chemical cabinets
MX-7500 TBC Brush load cell amp
PRETECH Fine jet Generator
AC Transformer
FA-21000A PC
YASKAWA SGD Drive
HF Circulation filter
UT3-F3AE-B touch panel
HFC-VWE Hitachi inverter
RORZE Curt-2032-0
Slurry flow controller interface
Power box
IFC-7300-001 Distribution box
Operating system: Windows NT
1998 vintage.
DNS/DAINIPPON AS-2000是一种全自动晶片研磨、研磨、抛光设备，设计用于精确研磨、拉圈、精加工硅等复合半导体晶片。该系统是最通用、最先进的自动化和过程控制单元.它能够产生优越的晶圆表面光洁度，具有优越的晶圆平整度和厚度。DNS AS2000提供理想的平面和角度研磨的辛和不对称图样晶片，包括台阶，通过和凹凸研磨。抛光是通过自由移动的磨料主体机完成的，实现了快速准确的平整度、均匀度和厚度调节。该工具还提供各种抛光和研磨参数，包括选择使用不同的金刚石颗粒进行各种工艺。资产配备了先进的过程控制和安全系统，如压力调节器、真空系统、温度控制单元等。这确保了精确和可重复的过程具有优越的晶片表面条件和质量。其他功能包括晶圆进纸器和晶圆框架,使晶圆尺寸易于调整,PLC控制器带有触摸面板,可轻松选择工艺,以及内置的多种研磨和抛光模式。为了获得最佳的研磨生产率和工艺性能,DAINIPPON AS 2000设计了一系列高级软件功能,使用户能够精确控制研磨和抛光参数,如研磨参数、金刚石尺寸、品位、界面压力、速度曲线、振荡和材料去除率。该模型还支持通过集成数据库和可编程逻辑控制器实现过程自动化。该设备采用现实的系统来应用所需的研磨或抛光压力，这受到表面状况的强烈影响。研磨抛光控制单元还包括一个完全集成的软件包，用于监测、控制和分析研磨过程，以确保极严格的公差和连续晶圆数据收集。综上所述，DNS/DAINIPPON AS 2000是一款高度先进的晶圆研磨、研磨、抛光机，提供卓越的晶圆表面光洁度，具有卓越的晶圆平度和厚度。它能够对多种复合半导体晶片的表面进行精密、精确的研磨、研磨和抛光，并配有先进的工艺控制和安全系统，是各种尖端晶片加工应用的理想选择。
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