二手 DNS / DAINIPPON AS-2000 #293821107 待售
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DNS/DAINIPPON AS-2000是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,主要为半导体和MEMS制造业设计。该系统由三个主要组成部分组成：一个研磨主轴、一个研磨主轴和一个测量研磨主轴位移的编码器，使操作员能够实现严格、精确的公差。磨削主轴由高功率无刷伺服电机驱动,其转速可高达48,000 RPM,在转速和进给速率上均可调节,以达到所需的光洁度。研磨主轴还采用了大功率的无刷伺服电机，最大转速为8,000RPM，单次移动可将晶片移动至30,000mm。研磨主轴位于顶板上,操作人员将晶片放置在顶板上。DNS AS2000提供了多种功能,旨在缩短工作时间并减少浪费。吸风机位于机组后部，除去研磨和抛光过程中产生的灰尘和其他微粒。此外，电机控制部件还配有绝缘陶瓷步进电机，可防止静电充电的灰尘和颗粒，确保工作表面清洁。该机还具有全自动测量能力，使其能够跟踪研磨基准，并在设定点停止，以及一个快速更换的卡盘工具，允许更快的刀具转换，以及一个倾斜高度调节器，让操作员将研磨主轴的高度调整到各个层次。DAINIPPON AS 2000是适用于任何晶圆抛光应用的先进机器。它拥有一个专利的三点抛光方法，其中晶圆从中心向外研磨，确保均匀的光洁度。此资产还能够处理特殊的形状和大小,包括大型和复杂的轮廓。该型号的强大性能和准确性使AS 2000成为任何高级抛光应用的绝佳工具。
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