二手 DNS / DAINIPPON AS-2000 #293822136 待售

ID: 293822136
优质的: 2001
Chemical Mechanical Polishing (CMP) System 2001 vintage.
DNS/DAINIPPON AS-2000是一种多功能、自动化的晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统配备了高精度的3轴控制器,可用于对研磨参数进行编程,以达到所需的表面光洁度。它还提供了对研磨过程的实时监控。该单元由几个组件组成,包括一个晶片卡盘和两个用于研磨的集成磨料带、两个用于抛光的电动研磨盘和一个可选的抛光台。晶片卡盘允许高精度加载具有可调高度和间距的晶片,以实现所需的表面光洁度。集成的磨料带允许晶圆表面的轮廓和粗糙度优化。并且利用高分辨率编码器提供晶圆表面标准差的反馈。两款电动研磨盘直径较大,可实现均匀高效抛光。它们可以独立调整,以精确适应不同的晶圆尺寸。此外,还提供可选的蒸汽抛光和清洁装置,以提供更好的表面光洁度。DNS AS2000具有许多安全功能,完全符合CE和WMC标准。它包括一个可以在紧急情况下使用的紧急停止按钮,以及一系列用于超压、超温和高振动的自动保护措施。此外,该机还可以通过数字触摸屏控制实现连续研磨、研磨和抛光的自动化。总体而言,DAINIPPON AS 2000是一种先进的自动化工具,可提供可靠、一致的晶圆研磨、研磨和抛光。它具有高精度磨削、可调节的研磨盘和可选的蒸汽清洗功能,非常适合那些希望以最小的努力实现高质量表面光洁度的人。
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