二手 DNS / DAINIPPON AS-2000 #9235501 待售

DNS / DAINIPPON AS-2000
ID: 9235501
晶圆大小: 6"
优质的: 2003
CMP System, 6" 2003 vintage.
DNS/DAINIPPON AS-2000是专门为制造半导体晶片而设计的晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统能够同时研磨和抛光多达八个晶片,使得高生产率的处理成为可能。它还提供精密的表面整理和高质量的图桉。这台晶圆研磨、研磨、抛光机由一个带真空夹紧机构的三维自动导轨单元组成。这台机器允许更快的晶片从研磨转移到抛光过程,从而减少制造时间。此外,DNS AS2000还采用集成空气轴承设计,以实现晶圆的平稳、精确传输.它还有一个独立的空气冷却工具,以防止热应力。DAINIPPON AS 2000能够实现7 nm或以下的优越表面粗糙度(Ra),并且在晶圆的正面和背面都具有镜面光洁度。这种优越的精度是由于其精密的机器子系统,包括在所有轴上具有低间隙的运动学,以及提高精度的可变线性速度。用于控制主轴和磨头的线性驱动器,可实现高精度和可重复的结果。DNS AS 2000资产的晶片尺寸很大,最大可达6英寸,容量可达8个晶片。在平面上进行研磨和抛光过程,使应力和翘曲最小,确保结果的准确性和可重复性。如果需要,AS 2000模型还提供了手工改动工艺的可能性。此外,设备还可以连接到第三方计量系统,以监测和优化过程。最后,DNS/DAINIPPON AS 2000晶片研磨、研磨、抛光系统提供了高生产率的加工、精密的表面精加工、优越的表面粗糙度和低应力工艺,以及快速调整和第三方与计量系统集成的可能性。
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