二手 DNS / DAINIPPON AS-2000 #9366258 待售

ID: 9366258
优质的: 1999
CMP System 1999 vintage.
DNS/DAINIPPON AS-2000是一种高性能晶圆研磨、研磨和抛光机,专为半导体和光伏行业的过程关键生产而设计。它具有高精度的研磨抛光设备、先进的磨料技术以及用于检测和分析表面缺陷的集成数字图像分析模块(DIM)。DNS AS2000利用无冲击研磨和磨削磨削来在基板表面上实现均匀、精细的光洁度。研磨抛光系统包括一个大直径带多电机控制速度和抛光特性。用于表面缺陷分析的集成DIM特征利用数字显微镜和颜色编码图分析来检测、分类、量化和诊断表面缺陷。DAINIPPON AS 2000集高性能精度和可重复性于一身。通过利用电光反馈,控制单元允许更严格的公差加工和高度精确的工艺特性。这种精确的控制还允许使用数据收集和自动化进行过程监测和改进。机器中包括的先进磨料技术减少了加工时间,同时仍为基板表面提供了最佳、精细的光洁度。AS-2000支持标准和定制腔室,以及各种消耗品。它还兼容多种研磨和抛光工具,非常适合高通量生产和定制晶圆研磨应用。晶片大达12英寸。(300毫米)无需任何长度限制即可处理。可编程设计使得该工具能够高度适应不同的工艺要求。DNS AS-2000设计用于安全、高效的操作,符合必要的安全和环境标准(ISO 9001和14001)。这种晶圆研磨、研磨和抛光资产是任何半导体或光伏生产设施的宝贵资产。
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