二手 EBARA C-1120-008-0001 #9130629 待售

EBARA C-1120-008-0001是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,设计的精度和可重复性.该系统构建在模块化平台上,可以定制以满足特定的客户需求。它由一个单级单元组成，可以配置为干式或湿式操作。该机经过优化,可在最短的处理时间内产生平坦光滑的表面。这是由于它结合了研磨和抛光板，这是为了创造最佳的接触压力。此外，每块板都配有两个反向旋转的传动轴，以提供横向运动，减少研磨所需的冲程次数。该工具由变频驱动马达提供动力，其调速范围为零至2,000 RPM。该资产设计用于各种环境和条件,包括-10至+50摄氏度的温度。该模型还配备了一个监控设备，使其能够检测过程参数的变化并作出反应。研磨板有金刚石或浮石两种形式，其设计允许不均匀材料快速均匀变形。研磨板也极为耐用，能承受长期使用和高压。抛光板设计为在晶圆表面产生高磨料接触压力，产生光滑、光滑的光洁度。这是通过持续监控晶片表面以确保在每个晶片上达到相同的表面光洁度来实现的。抛光板由氧化铝制成，在莫氏刻度上硬度额定值为9.0，使其耐磨损。最后，C-1120-008-0001配备了一个控制单元，允许对整个过程进行监控，让技术人员对过程进行快速调整，并对参数的变化做出反应。这对于保持一致的结果和确保生产出质量最高的晶圆至关重要。