二手 EBARA EPO-113 #293759261 待售

EBARA EPO-113是一种高精度晶圆研磨、研磨和抛光设备。它是为了满足半导体和光学元件制造商最苛刻的要求而设计的。该系统提供最先进的性能、准确性,用户可以通过研磨、研磨和抛光单层、双面和多层基板来提高工艺和生产率。EBARA EPO 113采用了最新的电机控制和驱动技术。该单元配备了高性能无刷电机，能够实现改善的线性、高速和大扭矩输出。总研磨速度可达5,000 rpm，不需要高成本的人工。还可以对EPO-113进行编程以实现不同的切削轮廓,从而允许用户针对不同的材料定制其研磨和抛光工艺。它还具有一系列集成的安全功能，包括智能蓝宝石压力机、紧急停止按钮和紧急不锈钢板。该工具可加工直径达6英寸的工件，适用于大小基板。EPO 113采用线性驱动技术，有助于实现顺畅的切割过程和高精度。EBARA EPO-113配备了先进的CCD监控资产，以确保精确完成。强大的研磨研磨工艺在工件上非常温和，避免了对材料的任何损坏。该模型还设计用于自动检测切割过程的结束，以防止不准确和偏差。EBARA EPO 113设备非常适合广泛的精磨和研磨应用，包括半导体和光学元件制造。凭借先进的技术和快速的安装时间,用户可以简化流程,同时提高晶圆的整体质量。