二手 EBARA EPO-113 #293825811 待售

EBARA EPO-113是为研发应用而设计的晶圆研磨、研磨和抛光设备。适用于磨削、研磨和抛光直径不超过200毫米、厚度不超过5毫米的晶片。EBARA EPO 113将微处理器技术与精密光学元件相结合，提供稳定的研磨平台，同时能够很长的缓冲长度、较长的景深和较短的週期时间。该系统能够在各类芯片上产生亚微米表面饰面；这些非常平坦光滑的表面非常适合半导体器件的生产。EPO-113具有先进的运动控制器，可提供快速、准确和可重复的运动，以实现亚微米精度。它还有一个3D视觉单元，可以检测晶圆上微小的结构和表面变化。该机采用密闭室，有过氧化氢和氙气气氛，确保清洁无污染的研磨研磨过程。EPO 113配备了各种工具和配件，如振动锅、金刚石磨轮、抛光板、可调导环等。这些工具提供了广泛的应用，使用户可以轻松地进行各种类型的研磨、研磨和抛光操作。EBARA EPO-113具有单服务器控制体系结构,每天易于使用和监控。内置的安全功能和可靠的操作确保了工具的平稳高效运行。此外,用户友好的图形用户界面（GUI）使操作变得简单,并且无需掌握复杂的命令。总之，EBARA EPO 113是一款功能强大、用途广泛的磨削、研磨、抛光操作工具，是研发应用的绝佳选择。其先进的运动控制器和3D视觉资产使其易于操作，具有亚微米精度，而其高精度的工具和安全特性确保了可靠高效的操作。