二手 EBARA EPO-213 #293814768 待售

EBARA EPO-213晶圆研磨、研磨和抛光设备是专为半导体生产线应用而制造的全自动机器。该系统采用两阶段研磨和研磨工艺，可产生可靠的效果，同时仍可提供易于操作和高吞吐量。EPO-213由基础平台、主轴组件、转换器以及具有用户控制的集成驱动单元组成。基地平台容纳机器的所有部件，由重型钢材建造，以确保稳定的操作环境。主轴组件设计用于固定和研磨各种尺寸的晶片。这是通过利用一个卓越的冷却和研磨机制，帮助减少晶片的碎裂和破碎迅速和有效地完成的。该工具还具有集成的研磨资产,可施加均匀且可重复的研磨压力,以实现精确和改进的精加工质量。它还用作识别研磨过程中任何不规则性的基础。EBARA EPO-213型号配备了一个变频器，提供变频驱动器，允许用户调整主轴转速以满足所需的要求。此特性对于确保磨削和研磨过程的最佳效果非常重要。此外，该设备还包括一个用户友好界面和一个触摸屏显示屏，用户可以设计和编程他们正在处理的过程所需的确切参数。集成驱动系统是使EPO-213真正独一无二的原因。此单元允许用户通过提供有关磨削和研磨过程操作的详细信息来绝对控制磨削和研磨过程。机器的用户界面还提供配方功能，以便用户可以存储、召回并快速修改其研磨和研磨设置。总体而言,EBARA EPO-213晶圆研磨、研磨和抛光工具提供了可靠且一致的结果,完全符合公司工程师设定的公差。它易于使用,并且在开始之前需要最少的设置。它旨在确保一个可重复和准确的过程，同时还允许用户快速、轻松地修改和保存他们的过程设置。