二手 EBARA EPO-213 #293814769 待售

EBARA EPO-213是一种精密的晶圆研磨、研磨和抛光设备,能够在多种材料上产生超细饰面。该系统专为高生产率、超细最终抛光以及各种磨削和精加工应用而设计。EPO-213配备了强大的两轴数控磨削主轴和伺服驱动的端效应器，旨在实现超精密研磨和抛光。这使设备能够在较短的研磨时间内获得更好的表面光洁度。最终效果器还提供了一个自补偿机器,可快速调整零件几何从一个零件到另一个零件的变化。EBARA EPO-213还配备了最新的自动晶圆处理技术。这包括晶片装载机、晶片弹匣和卸载机。装载机和卸载机提供了一个完整的自动晶片传输过程，允许晶片以最低的人工成本和人工处理快速传输。该工具由重型8英寸研磨主轴提供动力，非常适合研磨非常坚硬的材料，如石英、玻璃、铬钼等。该设备还具有冷却剂稳定模型，可减少磨削热量，确保冷却剂在磨削过程中均匀分布。EPO-213还配备了先进的伺服控制抛光设备。该系统能够在抛光各种材料和表面饰面的同时实现高水平的重复性。此外,该单元还具有一系列高级功能,例如可调节的研磨压力、可调节的板旋转速度和可编程的晶圆方向,使其能够满足各种抛光需求。EBARA EPO-213完全封闭在防尘、无静电的工作环境中。这包括带空调的不锈钢前面板、双壁室和高压气流机。该单元还包括一个用户友好的触摸屏界面，允许易于操作和控制。EPO-213对于需要精密晶圆研磨、研磨和抛光工具以实现高产率的客户来说,是一个理想的解决方桉。该资产利用自动化晶片处理,并通过高效可靠的研磨和抛光操作优化了生产率,从而提供了卓越的表面光洁度,同时节省了人工成本和时间。