二手 EBARA EPO-222 #115590 待售

EBARA EPO-222是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备,用于半导体制造和其他需要精确精度的行业。EBARA EPO222系统专为提供效率和质量而设计,在半导体研磨、研磨和抛光应用中提供最佳性能。EPO 222单元由主体和辅助设备组成，包括研磨夹具、研磨板、研磨盆和合规头。机器在双电压驱动电机上运行,能够实现高达700 rpm的速度。该工具的主体具有重型结构、铸铝框架和不锈钢门的耐用性和易维护性。封装在密封的防尘舱内，以达到最佳的安全性和性能。研磨夹具用于将研磨盆附着在主体上，方便晶片的转移。研磨板用于将研磨盆提高和倾斜至最佳角度，使研磨均匀且更薄。研磨盆采用多层涂层的高精度合金刀，使研磨操作流畅高效。合规性头可控制晶片的加工频率,确保研磨和研磨操作成功且精度高。EBARA EPO 222配备了先进的监控和保护系统，以确保最佳性能、安全和寿命。资产包括自动报警和关机功能,以防止由于过载或过热造成的任何损坏。该型号还配备了自动润滑设备，为研磨夹具、研磨板和研磨盆提供润滑，从而确保系统的最小磨损和最大效率。EPO222装置的设计性能可靠，拥有成本低，保证了生产过程的不间断和产量的提高。EPO-222具有轻巧的设计和集成的手动跟踪功能,操作简单易行,是半导体行业理想的晶圆研磨和抛光解决方桉。