二手 EBARA EPO-222 #293775100 待售

EBARA EPO-222是一种精密表面整理机，设计用于晶圆的研磨、研磨和抛光，以及尺寸较小的元件。适用于需要快速、准确和可重复结果的半导体和光电应用。磨头、研磨板、抛光板精度高，设计在表面光洁度质量方面提供卓越性能。变速Y轴和X轴表允许用户轻松调整研磨头的位置以获得所需的曲面效果。该机设有三个独立的抛光站，可用于不同的材料。可以借助XY轴可调表精确定位抛光垫。磨料介质安装在独特的"U"形抛光头中,以确保一致的抛光性能。EBARA EPO222配备了一个全自动机械臂，便于从加工区装卸晶片，以及自动交换磨料介质和抛光垫。该设备还设计有激光对准系统和自动滤波器清洗功能，有助于提高过程的重复性和减少介质消耗。该机器通过控制器操作,控制器具有直观的触摸屏界面和易于理解的操作菜单。该设备还具有数据日志,可随时间精确监控所有工艺参数,包括时间和介质消耗率、温度、RPM和研磨/抛光结果。总之,EPO 222是一种先进、通用的晶圆研磨、研磨、抛光机.它提供可重复、准确的结果，具有高精度的表面光洁度质量，适用于各种精密应用。直观的操作界面和自动化功能使该工具成为一种理想的解决方桉,能够以最小的工作量实现高水平的表面光洁度质量。