二手 EBARA EPO-222 #293813196 待售
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ID: 293813196
晶圆大小: 6"
Chemical Mechanical Polishing (CMP) system, 6"
Open cassette type load and unload on Left (L) and Right (R) sides
Roll and roll unit cleaner on L and R sides
Pencil unit cleaner on L and R sides with spin dry capability
Polisher on L and R sides
Normal head top ring on R side
I Head top ring on L side
Dresser on L and R sides
Ceramic platen type turn table on L and R sides
Pusher on L and R sides
(2) Rorze robots
Turnover on L and R sides.
EBARA EPO-222是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备，设计用于对各种半导体材料进行高精度处理。该系统采用固定床安装底座和直线电机驱动的磨轮。磨轮安装在两个可调节的支座上，这两个支座允许通过手动控制来调整角度和高度。圆盘式磨轮用于将工件磨削到特定平面，并将其抛光至所需的表面粗糙度。它也用于研磨和抛光，以达到较高的光洁度质量。该单元还配备了精密空气轴承，可以移动磨轮，使平面和晶圆顶面保持平行。此外，EBARA EPO222还配备了车载CCD摄像头，可让操作员从操作面板上观察工件表面。也可用于对准、测量等用途。该机可用于加工多种材料，包括硅、蓝宝石、石英和其他半导体材料。它还配备了一个用户友好的操作工具，便于操作和维护。EPO 222是一种可靠、精确的设备,可提供晶圆研磨、研磨和抛光元件的高精度加工。它允许快速准确地生产符合确切规格的组件。该模型旨在帮助提高任何自动化过程的质量和生产率,为各种行业提供高效可靠的解决方桉。
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