二手 EBARA EPO-222 #293821171 待售

EBARA EPO-222是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备，设计用于研磨和抛光各种材料的平面表面，包括介电、金属、硅和石英。该系统用途广泛，用户友好，为不同类型的抛光工艺提供了灵活性。该装置由两个主要部件组成：一个装有机电主轴的抛光机和一个集成的研磨抛光站，以及一个用于圆盘状晶片的倾斜支架。抛光站在环形区域内旋转和振动晶片，允许研磨和抛光硬和软材料。主轴可以在100至500 rpm的转速范围内操作,用于不同的硬质和软质材料,以及不同的研磨和抛光任务,以便根据需要进行最佳定制。EBARA EPO222机装有坚固的框架，安装在脚轮上，便于移动。这使得它非常适合长期应用或移动应用,无论大小。该单元还包括一个集成的抛光和研磨过滤器，以保护设备免受在研磨和抛光过程中会影响过程的细小颗粒积聚。EPO 222的用户友好界面允许为各种晶圆研磨和抛光需求轻松设置程序。通过界面，用户可以选择不同级别的抛光和研磨选项、材料选择、速度设置和保持时间。此外，界面还提供了用户自身程序和数据的便捷导入。该工具还允许完全控制抛光后的活动。这包括监控速度、速度变化、功耗和测试结果的能力，以及日常维护的调度。操作员还可以通过单击按钮访问各种维护工具。EPO222资产是一种可靠、经济高效的抛光和研磨操作解决方桉。凭借灵活的设计和用户友好的界面,它使操作员能够按照严格的标准制造高性能部件,同时确保速度、功率和精度。