二手 EBARA EPO-222 #9293808 待售

EBARA EPO-222是一种全自动设备，设计用于晶圆和晶圆边缘的精密研磨、研磨和抛光。它是一台高通量的机器，具有270毫米的研磨和抛光面积，能够以经济高效的方式对大批量晶圆生产进行优化处理。该机器非常适合处理300 mm和300 mm宽I/O晶片,并且还能够处理所有常见的芯片类型。该系统由7.5 HP、2800 rpm主驱动电机提供动力,可提供最佳的研磨、研磨和抛光性能,而不会产生任何振动或共振。它还具有两级皮带驱动单元和可调节的张力机，有助于最大程度地减少过载造成损坏的风险。EBARA EPO222包括一个可编程的高速主轴和精确的线性定位工具,以帮助精确定位和精确研磨能力。主轴由高速微步进电机驱动，便于光滑甚至晶圆研磨。此外，还有一个集成的变频驱动器（VFD）来调节主轴转速，以便容纳各种材料。机器还包含一个中央研磨资产与自动楼梯进料模型，帮助实现快速和准确研磨操作。它还包含一个两级抛光设备，带有一个振荡电动机，在晶圆边缘和表面上达到非常高的表面光洁度。研磨抛光系统包括一个集成的真空吸尘装置，以确保清洁和可靠的操作。EPO 222带有一个尖端的软件界面,允许对系统设置（如研磨速度、功率、通过次数、研磨角度和抛光压力）进行全面定制。它配有触摸屏监视器和强大的HMI（人机接口）控制，便于操作和监控过程。总体而言，EPO222是一台功能强大、经济高效的精密晶圆研磨、研磨和抛光机，性能极佳，浪费最少。它具有强大的7.5 HP主驱动马达、高速主轴、有效的楼梯进给工具和精致的HMI。这使其成为高效处理最大表面质量的大容量晶片生产的理想资产。