二手 EBARA EPO-2226D #293749187 待售

EBARA EPO-2226D是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光机。其独特的设计允许使用单个主轴对大型晶片（直径高达200毫米）进行高精度、单程研磨、研磨和抛光。由于主轴永远不会离开晶片，因此不需要在每个工艺之间进行昂贵、复杂和不准确的机械转移；从而提高了精度，大大缩短了周期时间。EPO-2226D由能够提供高达200Nm扭矩的高容量主轴电机驱动。其多重速度控制支持各类晶圆研磨、研磨和抛光工艺。这允许应用低速、中速或高速研磨、研磨和抛光,具体取决于工艺达到最高产量的要求。该机由一台西门子PLC和一台19英寸HMI供电，持续监控，以确保最佳运行和安全。这也可以方便数据输入和操作，并创建一个集成系统，以便于维护和操作。EBARA EPO-2226 D的高精度、闭环伺服控制系统有助于获得极精确的结果和可重复性。这是通过其交流伺服电机实现的，它能够快速响应不断变化的条件。它还使用两个谐波驱动器来控制居中和总压力,同时允许多个磁盘识别,而无需手动校准。EPO-2226D包括一个完整的外壳，具有除尘和粒子监测能力，使设备适合在恶劣的环境中使用。为了提高安全和卫生，设计中集成了压力和流量传感器，监控除尘系统的运行，以及多种附加的保护和除尘元件。EBARA EPO-2226D的总体优势是周期时间快，在安全、清洁的工作环境中具有精确、高产的效果。该机器经过设计，能够提供可靠、可重复的性能，允许长期的生产力和稳定性。