二手 EBARA EPO-2228 #9203972 待售

EBARA EPO-2228晶圆研磨、研磨和抛光设备是用于半导体、电子和光学材料精密表面精加工的先进自动化解决方桉。该系统能够制造和测试从高精度MEMS元件到超高密度光波导的各种先进设备。EBARA EPO2228的核心是一对高性能主轴电机和相关的驱动单元，它们产生超精密、可编程的研磨、研磨和抛光操作，其精确度在许多高端应用中至关重要。马达与碳化物、金刚石等高强度材料配对，使主轴容易处理高温合金、硬质陶瓷等最困难的材料类型。该机配备了多项先进的可编程功能，允许可重复的单步操作、批量生产运行和自动测试序列。软件支持使用定制的工作夹具,允许灵活和可重复的操作。这允许运算符在从一种材料类型切换到另一种材料类型时快速建立工艺设定点并重复这些精确设置。EPO 2228机器还配备了智能错误恢复功能，可以在发生意外过程中断时自动召回最后验证的研磨、研磨和抛光程序。此功能允许工具在不等待有人干预的情况下立即恢复过程,从而有助于加快生产速度。资产还能够进行精确的过程中测量,以确保过程的完整性,并确保达到符合客户要求的精度水平。嵌入式监控功能还能够在进一步处理材料之前提醒操作员注意问题,从而可以立即采取纠正措施。EPO2228晶圆研磨、研磨和抛光模型是一个非常精确和自动化的解决方桉，用于制造和测试苛刻的材料。这种无与伦比的精确度和自动化的过程控制相结合,可以提高产量和节省成本,同时确保可靠、高质量的产品。