二手 EBARA EPO-2228D #293642832 待售

EBARA EPO-2228D是一种精密晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在在高级应用中达到最高水平的平坦度、表面光洁度和边缘精度。EPO-2228D能够处理直径不超过8英寸的晶片,并提供各种功能和选项以满足各种用户需求。该系统包括用于精确车轮对准和可重复车轮图样的两轴电动晶圆木匠卡盘，以及用于快速、精确车轮修整的两轴电动抛光主轴。变速驱动和手动车轮控制允许精确控制车轮速度，可变高度的车轮托盘最多可容纳两个电动或手动车轮。该单元还包括一个手动轮毂，用于手工抛光小型和难以到达的区域。该机器易于使用，具有用户友好的触摸屏控制器和车载诊断。自动化的输送机工具能够有效地进行物料的装卸，低压排气设备可以提供卓越的空气过滤和控制。该模型还具有内置的安全功能，包括条形码读取器、工具箱门互锁、自动互锁排序和紧急停止按钮，以帮助确保机器的安全使用。该设备旨在提供最高水平的准确性和可靠性，使其适合广泛的晶圆处理应用。它能够实现高水平的表面光洁度和平坦度，以及出色的边缘精度。该系统旨在通过提供较高的研磨速度和较快的过程控制时间来减少循环时间并最大程度地提高吞吐量。EBARA EPO-2228D单元可配备多种选项，包括多个磨轮、喷涂加工机、晶圆工艺监控器和热控制工具，以及多种真空和液体进料系统。资产也非常灵活,可以配置为符合许多客户规格和要求。EPO-2228D是晶圆研磨、研磨和抛光的完美解决方桉。它旨在提供高精度和可靠性,为各种半导体和其他制造应用提供卓越的表面光洁度、平整度和边缘精度。