二手 EBARA EPO-222A #293809677 待售

EBARA EPO-222A是一种精密晶圆研磨、研磨和抛光设备，设计用于半导体和光学元件的超高精度、可重复抛光。该系统提供了多个嵌套的磁头部件,允许从头到尾的高吞吐量,并且每个步骤的精度最高。EBARA EPO 222A的主单元是一个高功率伺服电机驱动的头部，安装在悬臂上，能够达到3000 RPM的速度。头部具有可调的迎角，并具有可调的自动速度控制。另外两个头部部件，前磨头和后磨头，被设计为快速改变和重新校准。研磨头具有两个独立的马达，提供均匀的抛光动作；磨头提供了积极的磨削轮廓。研磨头和研磨头均标配金刚石磨料抛光机，碳化钨抛光机可选配配件。EPO 222 A配有耐用结构和集成真空装置，可以高效有效地清洗工具。该机具有闭环质量控制工具，可实现一致、可重复的性能和可调节的端点控制。EPO 222A还具有一个内置的智能过程控制模块,可提供有关晶圆进程的准确实时数据,以及一个板载诊断资产,可实现快速、准确的故障诊断。预先编程的配方库和图形用户界面为操作员提供了直观的体验。该型号维护成本低,易于操作,具有即插即用的设计和最短的安装和重新配置停机时间。这些设备具有用于连接和数据交换的模拟和数字接口，能够最大程度地与其他系统集成，同时确保对流程调整和全面运行监测的完全可追踪性。EPO-222A非常适合单机和多机应用,如生产晶圆加工、薄膜器件制造、半导体封装和光学器件装配。适用于多种材料，如SiC、SiO、GaAs、SOI。EBARA EPO 222 A具有集成的系统设计、高效的生产工艺能力和可靠的性能,是市场上可靠、精确的晶圆研磨、研磨和抛光装置的理想选择。