二手 EBARA EPO-222T #293662648 待售
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EBARA EPO-222T是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备，设计用于半导体和其他非金属基板。该系统具有坚固可靠的设计,可实现一致和高质量的结果。该单元是为处理不同尺寸和厚度的基板而量身定制的，可用于包括晶圆变薄、抛光、表面研磨和边缘研磨等多种操作。该机由一个主两轴可调表和一个三轴机械臂组成。双轴可调工作台可用于放置基板并在工作区中四处移动,以及倾斜和优化抛光/研磨操作。机械臂可用于处理直径不超过200毫米的基板,并允许基板在工作区内进行精确和可重复的移动。EBARA EPO222T还配备了冷却剂工具，为磨削和抛光轮提供冷却剂，以更好地管理操作过程中产生的热量。此外,该资产还可以配备空气刀,以实现最佳冷却和延长磁盘寿命。EPO 222T配备了两套研磨/抛光工具，每套工具都可以根据应用进行不同类型的操作。第一套包括金刚石磨轮、金刚石研磨盘和变速操作抛光垫。第二套工具由磨轮、研磨盘和抛光垫组成，用于高质量的抛光操作。这些工具旨在研磨和抛光各种基材，如石英、硅和GaAs。该车型还配备了高度可靠的安全防护设备。该系统包括移动安全防护装置、联锁装置和紧急停止按钮，旨在确保设备的安全运行。此外,EBARA EPO 222T旨在满足CE、RoHS和WEEE等国际安全标准。EPO222T是一台用途广泛、可靠的晶圆研磨、研磨和抛光机。该工具具有坚固和重型的设计，使其能够在各种半导体和非金属基板上进行一致和可靠的操作。该资产配备了两套研磨/抛光工具、冷却剂模型和安全设备，允许以最大的安全性和可靠性进行最佳的研磨和抛光操作。
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