二手 EBARA EPO-222T #9238850 待售

EBARA EPO-222T是一种高性能晶圆研磨、研磨和抛光设备,在每种应用中都能提供卓越的效果。这台机器设计用于硅晶片的精磨、研磨和抛光等工艺。该系统可应用于Si、SiC、GaN等多种基材。EBARA EPO222T采用多步设计,使其能够以高效、可重复的光洁度处理不同直径、厚度和材料的晶片。它由一个主外壳框架和一个底座安装的四轴数控控制器、研磨/研磨头以及各种外围子系统组成。研磨/研磨头由具有可调速度和进料的重型主轴组成，允许使用者根据应用微调研磨/研磨过程。该设备具有低噪声操作环境,可提供高达95 dB （A）的噪声保护。为了减少振动，采用了辅助舷外主轴驱动。它还具有高强度照明机器，使用户能够准确和详细地观察他们的过程。此外，还提供了一套安全警卫，以确保最大限度的行动安全。EPO 222T配备了离心抛光轮，能够单次在晶片上实现抛光光洁度，其全自动抛光模式提供了旋转速度可调、转速可调、抛光压力可调等先进特性，帮助用户实现最高的最终抛光质量。该工具易于使用、速度快、效率高。它可以手动操作，也可以用各种参数编程，以适应每个用户独特的应用需求。最后，整个资产被安置在一个小的封闭式阻尼盖，有一个可选的真空尘埃收集单元，以尽量减少尘埃散布。