二手 EBARA EPO-222T #9357639 待售

EBARA EPO-222T是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备，设计用于制造和修理先进的基材。它采用旋转主轴系统，可最大限度地提高研磨、研磨、抛光精度和效率，精度± 5 µm，分辨率为0.01µm。该装置能够处理直径可达8英寸、步高可达0.5毫米的晶片。EBARA EPO222T具有高品质的主轴设计，保持0-1,000 rpm的稳定转速。它的六轴CNC控制配置允许轻松地安装研磨工具,用于精确研磨、研磨和抛光过程。该机还具有额外的自由移动轴，以实现快速、轻松和精确的晶圆定位。该工具包括一个直接驱动电动机、一个用于精细电动机转速控制的交流变频器、一个Z轴执行器、一个主轴头、一个索引卡盘和一个抛光夹具。高度适应性的资产能够根据用户的工艺要求进行多种磨削和抛光条件。主轴头设计有一个用于反馈控制的旋转编码器，允许恒速和扭矩控制。这样可以确保晶片均匀研磨和抛光，达到尽可能高的精度和表面质量。索引卡盘配有光学编码器和精密加工凸轮轮廓，可快速高效地装卸晶片。它还允许快速、精确的研磨工具、磨料带和滚筒更换。抛光夹具采用铁磁设计，可以将晶片固定在可旋转的桌子上。这样可以确保晶片在研磨和抛光过程中牢固地固定到位,从而获得最佳效果。除了简单、用户友好的设计外，该模型还具有卓越的精度和可重复性。它还具有先进的安全功能，如紧急停止开关和磁性制动设备，以确保操作过程中的安全。EPO 222T是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光系统，非常适合生产和修理先进的基材。它具有坚固的主轴设计和多达七个运动轴，以最大限度地提高精度和效率。其安全特性使其成为确保产品可靠性和性能的可靠工具。该装置质量高，是制造和修理先进基材的理想选择。