二手 EBARA EPO-222T #9412401 待售

EBARA EPO-222T是一种高度先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在实现最佳的生产效率和优越的产品质量。这种经济高效的系统具有最先进的波形生成控制、前沿研磨技术以及用于精密加工的双轴主轴控制。该装置为各种半导体和微电子应用提供高速处理能力和自动研磨和抛光。EBARA EPO222T的组成部分包括一个全封闭的预先设计的加工室，该加工室有一个全宽的3英尺长的加工室和一个顶部装载的机器人工作区，以便安全高效地操作。该机还设有三轴运动控制工具，两台高扭矩同步电动机和伺服电动机相结合，提供卓越的精度、重复性和高速运行。先进的研磨主轴设计采用高功率电机,可精确控制进料速率和速度,从而确保平滑、一致的表面光洁度性能。易于使用的触摸屏界面和直观的图形编程软件使操作员能够快速设置其工艺参数，并通过按下按钮来调整加工参数。一个先进的工具对齐资产，以最小的操作员干预确保优越的结果。EPO 222T还配备了一个自动安全模型,具有安全垫、轻型窗帘、操作员互锁功能,并具有恒定的向下查找功能,以实现清洁、安全的操作。该设备与自动化数据收集系统完全集成，使操作员能够储存和监测其流程数据，以便进一步分析。该装置还具有一个自我调节的回收机，可以快速和安全地夹紧，锁定和对齐，以达到最佳性能。最后，该工具具有先进的除尘设备，具有HEPA过滤和远程监控功能，以提高安全性。EBARA EPO先进的特点、坚固的构造和直观的用户界面222T使其成为各种半导体和微电子应用中磨削、研磨和抛光的完美解决方桉。这种成本效益高、可靠的模型以最小的操作员干预提供了优越的效果；确保准确、可重复和高质量的结果。