二手 EBARA EPO-223 #293636272 待售

EBARA EPO-223是一种专业级的自动化晶圆研磨、研磨和抛光设备。系统的设计是完全自动化的，让用户能够快速轻松地执行整个晶圆生产过程。该机组使用精密控制的高速主轴来研磨、搭接和抛光直径达300毫米的晶片。该机采用机器人晶片装载机和卡带定位器，有助于减少循环时间。膝板的尺寸和转速可以借助直观的触摸屏界面进行调整，以确保不同应用和材料的更高精度。此外，该工具还配备了先进的安全功能，如紧急停止开关、灯帘和联锁装置，以确保操作员的安全。该资产的设计还采用了专用的灰尘控制功能,使环境保持在最佳的洁净室规格之内。为了进行研磨，该模型装有一个3轴主轴，该主轴被编程成独立地剖析晶片。主轴由高扭矩电机驱动，使其达到高达22,000 rpm的速度。磨头可调节以满足各种晶圆尺寸、材料和工艺要求。主轴还配备了基于加速度计的速度控制设备，进一步提高了研磨工艺的精度。EPO-223的设计也使用户能够有效、快速的搭接晶片。该系统采用超精密空气轴承，以较高的精度控制膝盖台架的旋转。膝部工作台采用气动驱动，设计有真空杯泵，有助于在研磨过程中将晶片牢固地固定到位。此外,还可以调整圈板以确保不同材料的最佳效果。抛光过程通过设备的自动抛光头处理。抛光头具有可调节的抛光垫,可处理3至300毫米的晶圆尺寸。该机还结合了6轴机器人臂和均匀控制抛光机，帮助确保了一致的抛光光洁度。机器人手臂还装有数控端效应器，这有助于使过程自动化，减少循环时间。EBARA EPO-223采用高级材料和组件构建,以提供卓越的性能和可靠性。该工具符合CE、UL和ESD认证,保证安全使用。此外,EPO-223得到全面保证的支持,确保长期的安心。