二手 EBARA EPO S-010 #159147 待售

EBARA EPO S-010是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备，为复合半导体和石英材料提供高精度表面处理。该系统采用中心旋转头设计，可同时进行晶圆研磨、抛光、研磨和抛光工艺循环。它采用不锈钢和坚固合金制成，保证了该单元的高耐用性和高效率。EPO S-010机的旋转头设计提供了高度均匀的表面光洁度以及快速、精确的处理。该工具使用金刚石磨削工具，设计用于高效抛光晶片的边缘和表面，从而产生高精度、表面光洁度甚至芯片密度。资产还具有旋转抛光布，可以设置成产生均匀的厚度，允许一致的表面光洁度和防止表面损坏。EBARA EPO S-010有一个内置的数字控制器，旨在优化磨削和抛光工具的工艺参数和参数，以及简化模型的设置和操作。这样可以轻松操作和快速处理周期。数字控制器还具有各种设置,用户可以保存和回忆其研磨和抛光参数,从而确保工艺参数的可重复性和准确性。除了EPO S-010的高级功能外,该设备还能够以最短的时间输入实现最高的表面光洁度值,并为硬质和软质材料提供卓越的效果。该系统采用创新的金刚石圆盘技术（DDT）机制，确保金刚石磨削工具的使用精度和均匀性最高。开发了DDT装置，以提高研磨速度，减少装卸过程使用时间和维护时间。该单元还提供了晶片的高工艺产量和高工艺可重复性，使用户能够实现对成品质量的严格控制。EBARA EPO S-010的强大设计提供了可靠的性能、低的拥有成本和易用性,使其成为复合半导体和石英材料高精度表面处理的最佳可用系统之一。