二手 EBARA Frex 150 #293660146 待售

EBARA Frex 150晶圆研磨、研磨和抛光设备是满足半导体和MEMS器件技术最苛刻要求的高性能多功能解决方桉。Frex 150专为研磨、研磨和抛光最坚硬的硅片而设计,提供了高质量的光洁度,设置范围从400-2,000 RPM不等,最大研磨压力为2.2x106 N/m2。EBARA Frex 150配备了内置液压动力磨头、直径150毫米的肖特基晶片卡盘、大真空卡盘。该系统采用上侧研磨、研磨和抛光板以及下部底板，用于分配研磨压力和支撑。特殊的传感器量规控制允许在将晶片放在研磨板上时使用预设参数，以便进行精确和详细的研磨、研磨和抛光。该单元还配备了大型空气净化机，可用于从研磨和抛光区域去除空气中的物质，以减少污染，优化研磨/抛光性能。此外，自动化再循环工具和三重过滤资产使用于研磨和抛光的液体易于清洁过滤。Frex 150配有温度控制面板，用于控制和监测研磨和抛光过程中使用的材料的温度。EBARA Frex 150中还包括一个特殊的"配置文件跟踪"软件,允许用户预设和保存其研磨和抛光参数。此功能使它们能够实现可重复的表面光洁度轮廓和一致的材料移除率。该软件还允许广泛的表面粗糙度检测，并允许用户看到磨削和抛光过程中需要做出哪些改变。最后,Frex 150凭借其坚固的结构设计和精心设计的组件,确保低噪声水平、低颗粒排放和优异的光洁度,非常适合高生产率的应用。