二手 EBARA Frex 200 #293819847 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 293819847
晶圆大小: 8"
Chemical Mechanical Polishing (CMP) system, 8"
(2) Chambers
HF Supply.
EBARA Frex 200是一款用途广泛的晶圆研磨、研磨和抛光设备,专为优越的晶圆加工率而设计。利用交互式控制和最新技术的独特组合,EBARA FREX200提供了速度、精度和灵活性的完美结合。FREX-200能够研磨和研磨直径可达200毫米、厚度可达50毫米的晶片,非常适合晶片制造需要。该机器采用变速直流电动机,可提供最大扭矩控制,即使面对厚重的基板或材料,也能轻松处理两个方向高达200毫米/分钟的进料速率。除了高扭矩电动机外，Frex 200还配备了先进的三轴数控控制，确保高精度，以实现最佳的表面一致性。内置磨削和研磨模块为磨削和研磨表面层以及平滑上、下表面以准备抛光提供了一种高效的方法。该模块采用了最新的金刚石磨轮、金属丝研磨板和抛光垫,具有高达10个磁头和8个研磨速度,可提供均匀光滑的表面。此外,压力反馈传感器还集成到研磨和研磨模块中,以确保在此过程中始终施加压力。FREX200集成抛光系统采用三轴方法对200 mm大小的晶片进行抛光和上光。该模块配有各种抛光垫和刮擦去除工具,非常适合去除残留的污染物,并确保最高的表面光洁度精度。EBARA FREX-200中包含的自动监控单元提供了机器整体功能和性能的清晰而详细的概述。机器监视所有参数,并以易于阅读的图表显示结果,这些图表既显示在设备上,也通过Web界面远程显示。此功能可为用户提供有关当前研磨和抛光操作的实时反馈,从而能够快速做出明智的决策。在Summary中，EBARA F-REX200是一种最先进的晶圆研磨、研磨、抛光工具，配有先进的直流电机、数控和内置研磨研磨模块。这台高级机器为用户提供了高度的精确度,以及令人印象深刻的切割速度,从而可以更快、更准确地生产出表面完美的晶片。
还没有评论