二手 EBARA Frex 200 #9293811 待售

EBARA Frex 200是一个完全集成,晶圆研磨,研磨和抛光系统.这台机器采用计算机化数控（CNC），可以在晶圆表面上进行精确和可重复的运动。CNC利用闭环控制来调节和监控表面光洁度参数，如去除率、断裂和无颗粒区控制。该过程的第一步是研磨晶片表面。这包括选择合适的磨石和使用数控制导机械臂。这允许更高的精度与广泛的磨石尺寸。EBARA FREX 200的磨石尺寸从2"到10"不等，能够同时研磨标准和非标准晶片。接下来，晶片进入研磨过程。这是精确且可重复的数控制导机械臂在设定圈速范围时对晶圆施加润滑剂的时候。FREX-200的研磨速度从400 rpm到14,000rpm不等,并且可以调整以满足特定的工艺要求。接着安装研磨头，高速旋转压板，使晶圆均匀磨损和抛光。最后，晶片被转移到抛光站。该站有几个装有可调压力抛光垫的端口，使操作员能够抛光范围广泛的晶圆表面面积和类型。该抛光工艺与微动态压力系统相结合，保证晶片质量均匀。F-REX200还配备了手动晶圆抛光轮和专门设计的抛光板，有助于减少边缘裂纹。Frex 200有效地将晶圆研磨、研磨和抛光结合到一个自动化系统中，以提供精度、重复性和高生产吞吐量。通过数控的利用，FREX200可以为各种晶圆应用产生高度一致的结果。通过精确研磨和抛光晶片，这台机器可以为用户提供精确精确的表面饰面。EBARA F-REX200非常适合任何需要最高质量晶圆精加工的操作。