二手 EBARA Frex 300 #293606132 待售
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ID: 293606132
晶圆大小: 12"
优质的: 2001
CMP System, 12"
EFEM (Load/Unload):
(4) ASYST Load ports
YASKAWA Electric robot
Position control: Motor + Ball screw
Dry robot
Wafer transfer:
(2) Turn overs (R/L Side)
(2) Pushers (R/L Side)
(4) LTP Linear stages (R/L Side)
(2) Lifters (R/L Side)
Wafer stage (R/L Side)
Wet robot
Polishers:
(2) Top ring normal heads
(2) Buffing tables
Slurry line
Chemical (CL) connection
Return Line
(2) Dressers (R/L Side):
Diamond pattern type
Disk type: Plate
(2) Tables (R/L Side):
Material stainless steel
Lapping surface
Motor
(2) Cleaners:
1st Cleaner:
(2) Roll scrubs
(2) Megasonics
Wafer roller: Duro 90
SC-1 < 60°C
2nd Cleaner (Pencil and SRD Unit):
(2) Roll scrubs
Megasonic
Power control unit:
Power control
(4) Drivers:
Head rotation
Head swing
Operation controller (ETC):
Hardware:
VME Bus, board computer
Main CPU: 68 Series 32 Bit
2001 vintage.
EBARA Frex 300是先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备。它设计用于生产单面和/或双面抛光晶片，对表面粗糙度、表面平坦度和厚度进行严格控制。该系统在执行超精确研磨、研磨或抛光操作时提供了出色的可控性。EBARA FREX-300具有先进的数字控制单元,可在操作过程中精确控制研磨、研磨或抛光过程。它包括一个大功率的索尼主轴电机，提供平滑，低振动和高速旋转，帮助确保统一的结果。该机还具有先进的空气轴承，可进行平滑、无振动的研磨、研磨或抛光操作。F-REX300操作在带有三轴舞台模块的六轴机器人运动工具上。强大的机器人资产提供精确和可重复的自动研磨、研磨或抛光操作,以实现可重复的结果。全封闭机器人运动模型，增强过程控制和安全性。设备包括可用于定制研磨、研磨或抛光操作的集成软件组件。集成软件使研磨参数的定制变得简单快捷。它还具有直观的用户界面，便于控制和监控系统操作。此外,该软件还包括一个数据存储单元,使用户能够存储过去研磨和/或抛光操作中的数据,以供以后查看。该机配备了广泛的研磨、研磨和抛光消耗品。消耗品旨在提供一致和可重复的结果。磨削工具由多种材料制成，可用于粗磨、精磨、研磨和抛光等不同操作。研磨和抛光工具由陶瓷和多晶金刚石等具有弹性的材料制成，确保了均匀的效果。EBARA F-REX300还具有两种不同的特定于应用程序的组件：可选的磨料存储盒和抛光盒。磨料盒的设计便于研磨材料的装卸。抛光盒设计用于提供均匀的抛光剂应用，从而获得准确、可重复的结果。Frex 300是一款功能强大的晶圆研磨、研磨和抛光工具，旨在提供晶圆研磨、研磨和抛光过程的精确控制。它具有先进的数字控制资产、大功率索尼主轴电机、空气轴承和机器人运动模型、集成的软件组件以及一系列磨削、研磨和抛光耗材。这两个特定于应用程序的盒式磁带便于装卸研磨材料和抛光剂，提供一致和可重复的结果。
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