二手 EBARA Frex 300 #293641964 待售

EBARA Frex 300晶圆研磨、研磨和抛光设备是一种用于抛光和研磨各种晶圆材料的自动化系统。该单元包括一个A6k-XP高速主轴，最大转速为60,000 RPM，并配有磨削和抛光两个轴。晶圆研磨机精密研磨具有亚微米精度，具有提高效率和元件质量的特点。这包括真空装置、风冷主轴、皮带研磨、可选的轨道自动装卸能力、逐项实时元件信息、水温控制和计时器。EBARA FREX-300旨在有效加工直径为200 mm和300 mm的晶片、多材料晶片类型以及硬质和粘性基板。它配有可调地毯和抛光垫，以容纳大于晶圆直径尺寸的样品尺寸。高速主轴确保了快速而精确的研磨过程，而皮带机则确保了快速高效的物料转移。此外,可选的自动加载/卸载功能允许在无需手动干预的情况下快速加载和卸载多个晶片,从而提高了生产率并降低了人工成本。该工具包括一个高精度CCD传感器，用于检测元件边缘位置，从而优化磨削和抛光工艺。变速主轴可以减少元件损坏，因为它可以调整速度以适应不同的晶圆材料和厚度。控制单元配有图形用户界面，便于资产的管理和监控。内置温度控制模型可减少热磨损并保护晶片不会过热。F-REX300晶圆研磨、研磨和抛光设备是一种设计精良的系统,能够准确高效地处理各种材料和基材尺寸。其精确的CCD边缘检测传感器和变速主轴使设备能够实现高精度的结果，减少部件的损坏。其可选的自动加载/卸载功能和图形用户界面使机器成为生产自动化和实验室应用的理想选择。