二手 EBARA Frex 300 #293707331 待售

EBARA Frex 300是一款功能强大的晶片研磨、研磨和抛光设备，设计用于在包括Si、SiC和GaAs在内的多种半导体晶片上产生极其精确的平坦表面。该系统具有双磨头,可处理高达12英寸的晶圆,快速进料速率高达0.1µm/s。EBARA FREX-300配备了精确对准装置，以确保最佳的水平和更高的产量。Frex有一个真空安装的主研磨主轴，允许灵活的双研磨头的运动为优越的晶圆质量和改进的表面光洁度。该机还采用动态水冷却器和集成激光干涉仪来监测切削深度和晶圆的平坦度。F-REX300的磨头配备了强大的伺服电机，能够以30m/min的峰值速度驱动磁头。这些电机提供了+/-25 µm的优越晶圆定位精度，允许精密研磨和抛光。FREX-300配备了智能控制资产和触摸屏,以实现简单直观的操作。该型号还包括数据管理设备和用户友好的触摸屏界面。这允许用户存储流程参数和日志数据以进行统计流程控制。F-REX 300是一种高度耐用和可靠的系统，设计用于各种应用的精确度和长期使用。该单元符合晶圆加工的SEMI标准，并为最高精度和可重复性而设计。Frex 300以其卓越的性能，是先进半导体器件制造中晶圆研磨、研磨和抛光的理想机器。