二手 EBARA Frex 300 #293743768 待售

EBARA Frex 300是一种先进的全自动晶片研磨、研磨、抛光设备，用于制造半导体晶片。复杂的系统包括两个独立的流程模块，每个模块都可以配置为独立或按顺序运行。该单元为任何类型的晶片基板，如硅、单晶硅和绝缘膜提供了改进的晶片表面制备能力。集成双模块方法允许用户选择适合给定晶片的最佳加工条件,从精密研磨到高精度研磨再到超细抛光。它旨在通过高效管理各种晶圆预处理技术来节省时间和提高吞吐量。研磨模组由高扭矩、可调速度的电动机与研磨轮耦合，用于晶圆的精密成形。砂轮可以用特定的研磨参数进行编程，以达到所需的表面光洁度，使其成为复杂形状的理想选择。磨削模组利用具有精确轮廓反馈机制的可调力机构，以保持精确的表面粗糙度，参数非常紧。研磨模组旨在消除表面缺陷并提供光滑、均匀的表面光洁度。机器采用精密的压力控制工具来调整对晶片表面的力，以确保均匀一致的结果。整体反馈资产不断监控研磨和研磨过程,以获得一致的结果。平坦度测量也用于确保平坦、无缺陷的表面。抛光模块对于在晶圆上获得最佳表面光洁度至关重要。该模块利用可调节速度的电动机来驱动抛光垫，而可调节力机构则在晶圆表面保持均匀的压力。该型号配有光学抛光监视器和高分辨率成像设备，对抛光工艺提供无与伦比的控制。EBARA FREX-300是一种用于半导体制造的高度精密、自动化的晶圆研磨、研磨和抛光系统。双模块方法和高级反馈单元为用户提供了对晶片表面制备过程前所未有的控制水平。该机器能够在短周期内产生具有紧密公差和最小化缺陷的表面。