二手 EBARA Frex 300 #293761442 待售

EBARA Frex 300晶圆研磨、研磨及抛光设备是一种先进半导体制造的多合一加工解决方桉。这种最先进的系统能够进行多轴运动，从而能够对直径达300毫米的晶片进行高精度研磨、研磨和抛光。一个发达的转塔主轴在机器内部减少湍流和创造精确的运动在整个操作，保证高屈服精度和优越的光洁度。在该单元内,使用平整的单面研磨轮精确研磨晶片,以确保轮廓、几何形状和尺寸一致。机器中的机械手确保每个晶片的稳定性和可重复性。内置水冷工具用于保持零件在操作过程中冷却，从而降低热应力。各种磨轮、圈和抛光都可以使用，并且在作业编程过程中可以快速更换，从而实现最大的灵活性。研磨是使用预编程的旋转搭档（称为"拼盘"）进行的，拼盘中含有磨料以产生较高的平坦度。抛光站设定了获得光滑和镜面表面光洁度的最后一步。操作后，资产自动执行质量控制程序，对样品进行检查验证。这是通过将数据与存储的标准进行比较来完成的,以确保所有参数都在可接受的范围内。EBARA FREX-300具有高度直观的图形用户界面和符合人体工程学的设计。用户可以轻松地选择设置和程序作业。凭借其坚固的设计,维护是最小的,而且无电缆的连接允许快速轻松地进行设置。模型的自我诊断功能可确保所有组件正常工作,从而使操作员能够监控设备的性能并针对手头的工作进行优化。F-REX300是高精度磨削、研磨和抛光尺寸达到300 mm的晶片的理想系统。它将准确性、灵活性和可靠性与直观的用户界面结合在一起，允许高效、精确的操作。