二手 EBARA Frex 300 #293809029 待售

EBARA Frex 300是先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备，在晶圆上提供卓越的表面光洁度。该系统采用刚性结构构建，运行稳定可靠，具有大量元件，处理精度高，通用性强。它既可用于单面和双面晶圆研磨、抛光和研磨，也可用于各种其他操作。该单元包括一个主磨头与可变进料主轴和精密机械设计，使精确控制切割和磨料操作。EBARA FREX-300还具有可控进料压力机,可确保精确的磨削深度,以及精确的材料去除速度和最小的表面损坏。此外，先进的金刚石车轮修整工具提供了金刚石车轮的均匀粒度，提供了精确一致的研磨和圈速效果。该机还包括一个现场研磨测量资产，确保高精度和可重复性，以及一个全面的数据采集模型，记录关键工艺参数。该数据可用于进一步优化研磨和抛光工艺。F-REX300的设计旨在为各种材料（如半导体材料和离轴基板）提供卓越的质量和可靠的性能,提供最佳的边缘控制和表面质量。该设备具有易于使用的触摸屏界面，为直观的控制和操作员提供了方便地访问主磨头和研磨头。此外，EBARA F-REX 300还包括一系列安全功能，如紧急停止按钮和警卫联锁，确保操作员和系统组件的安全。该机还配备了先进的降噪技术，既降低了噪声水平，又降低了灰尘水平，确保即使在大批量工艺生产中也能达到最佳噪声水平。总体而言，Frex 300是一款高度精确可靠的高级晶圆研磨、研磨和抛光装置，为用户提供了能力和灵活性，以产生高质量的效果。该机适用于广泛的应用和材料，为操作员提供了最优的过程控制和高精度的过程结果。