二手 EBARA Frex 300 #293816722 待售

EBARA Frex 300是一种最先进的、高度自动化的晶圆研磨、研磨和抛光设备。EBARA FREX-300上复杂的3轴自动化系统可确保在单个晶片批次中获得精确且一致的结果,从而为您提供所需的任意数量的晶片。F-REX 300的Grinder和Lapper都采用了独特的三轴机械释放机构,无需手动操作和其他手动过程。EBARA F-REX 300的磨床最大研磨速度高达95,000 rpm，最小尺寸为40nm，高精度分辨率为± 20nm，是工艺和研发要求的理想选择。EBARA F-REX 300上的抛光装置经过设计，可以处理非常精细的晶片，并能产生质量控制的高级表面饰面。抛光的晶片可以达到Ra 2.5 nm的粗糙度和少数埃的平坦度。FREX-300的高精度自动镜面抛光机确保了一致和高性能的结果。该工具还包括一个标准的扁平研磨工艺,可提供快速、可重复和高质量的研磨结果,其平坦度能力低于0.1 nm （0.3 nm局部平坦度）。有一个可选的预转资产来支持高端研磨，这样可以提高圆度精度。集成清洁模型确保设备的所有部件在每个过程之前都是清洁的，没有颗粒。F-REX 300还配备了晶圆质量控制的工后检验模块。Frex 300的设计采用了先进的满载灰尘、无灰尘的版本，以满足洁净室友好操作的要求。系统也符合SEMI标准，使其适合大批量生产。总之，EBARA Frex 300是高级晶片自动精磨、研磨和抛光的理想装置。它提供高精度的结果、可重复的性能和较低的缺陷率。