二手 EBARA Frex 300 #293829696 待售

EBARA Frex 300是一款最先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备，设计用于硅、蓝宝石等光学材料的研磨、研磨和抛光。该系统提供精确、均匀和高度可预测的结果,因为它在整个研磨和抛光过程中提供多达5轴的多轴控制。该单元采用旋转台，由于旋转台速度的恒定和精确调整，可实现更高的研磨率和更高的晶片与晶片的一致性。磨床由强大的直流伺服电动机驱动，确保精密研磨和研磨，同时避免晶片和加工部件的机械应力。EBARA FREX-300设有3个站点，每个站点都配备了特定的纺锤和研磨工具，便于快速更换工具以及定制的工具序列。此外，该机具有内置的气流控制，确保晶圆表面处理过程中的最佳气流。气流控制消除了晶圆表面的灰尘粘附，避免了由于表面静电而刮擦上部。为了获得更好的精度，主要精密研磨和研磨一般与磨料浆料研磨分开进行。前者使用圆盘调节带进行精密进料和磨削或抛光控制。磨料浆料研磨在潮湿的环境中进行，采用在线浆料进料工具，确保精密的浆料调节和精度。F-REX300具有预编程的研磨选项,可选择粗磨、精磨、抛光、超平滑和镜面抛光等研磨模式。该资产是一种全自动解决方桉,旨在提高研磨过程的准确性和可重复性,并消除手动微调,减少操作员的错误。最后，采用减振器设计FREX-300，防止磨削过程中发生振动和其他与机器有关的问题。该型号设计环保、节能，并提供液晶触摸面板显示等功能，以提高操作员的便利性和准确性。