二手 EBARA Frex 300 #9044488 待售
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EBARA Frex 300是为半导体工业设计的高精度晶圆研磨、研磨、抛光设备。该机提供机械和化学抛光能力，提供卓越的表面整理和平面化工件。EBARA FREX-300是一个具有完全SPC和FDC功能的自动化系统。它利用一个8轴运动控制单元，允许快速和精确的表面研磨，研磨，和抛光过程。该机可灵活配置为批量生产工艺或串联生产线。该机器采用专利晶片悬挂工具，在研磨和抛光过程中牢固地固定晶片。F-REX300配备了可处理300 mm晶片的大功率驱动器头,能够在两侧进行磨削和抛光,其砂粒细至800G。它包括一个高精度的抛光垫，确保一个卓越的抛光表面光洁度。EBARA F-REX 300设计用于高循环速率的高精度、平滑的工艺结果。它具有若干安全特性，包括碎片陷阱和光传感系统，以获得准确和可重复的结果。该机器由基于Linux的CNC计算机驱动，允许晶圆处理过程完全自动化。F-REX 300还配备了真空卡盘，用于可靠、可重复的晶片加载定位。该资产被设计用来处理各种各样的晶圆材料，包括硅、砷化氙和金刚石。它还设计用于提供较低的设备维护和服务费用。此外,Frex 300还通过了Eco Mark认证,符合所有必要的环境和安全标准。FREX-300是一种集成的晶圆研磨、研磨和抛光解决方桉,它将速度、精度和灵活性结合到一台功能强大的机器中。EBARA F-REX300以其优越的表面修整和平面化，是满足半导体工业生产需求的首选。
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