二手 EBARA Frex 300 #9099440 待售

EBARA Frex 300
ID: 9099440
晶圆大小: 12"
Tungsten CMP system, 12".
EBARA Frex 300是一款最先进的晶圆研磨、研磨、抛光设备。它为用于创建高性能通信、计算机电子、航空航天、医疗、汽车和其他工业部件的研磨、研磨和抛光操作提供了一流的精度和高精度。EBARA FREX-300具有一个用户友好的、基于Windows的界面,可通过一系列高级可编程选项轻松直观地导航和操作,使其适合更大、更复杂的应用程序。该系统设计用于各种晶圆和基板材料,有许多工具和附件,用户可以根据特定任务定制设置。它由晶片架级、研磨研磨轮、抛光轮、抛光垫、抛光液体和真空发泡装置组成。F-REX300还配备了多种研磨模式,包括旋转、摆动和螺旋研磨,以及加快过程的快速轴。该单元的晶片固定架级设计为可容纳8英寸、100毫米和200毫米晶片。舞台和导轨由高级铝和不锈钢构成,保证机器在操作过程中保持刚性磨削和抛光精度。磨削砂轮配有各种金刚石镀层磨料,磨削操作方便快捷。抛光轮和抛光垫是专门为晶圆和基板提供均匀抛光而设计的,材料损坏最小。最后,该工具的真空发泡装置在磨削和抛光过程中提供卓越的组织保护,去除可能污染研磨和抛光表面的粉尘颗粒。这有助于创建一个更清洁、更精确的表面光洁度,没有工艺残留物。FREX-300是一种高质量、精密的晶圆研磨、研磨和抛光资产,为各种复杂的抛光应用提供了令人耳目一新的性能和一致性。
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