二手 EBARA Frex 300 #9142699 待售

EBARA Frex 300是一种精密晶圆研磨抛光设备，设计用于广泛的加工要求。该系统采用了一种振荡运动机构，可以对晶圆进行高效的研磨和抛光。该设计能够提供小于1微米的重复精度。该单元还具有0至60 RPM的全变速控制功能。EBARA FREX-300适用于各种晶片类型和尺寸，从200毫米到300毫米不等。它被设计为能够处理Si、GaAs、GaN、GaSb、InP、InSb、碳化硅（SiC）等一系列材料。它还兼容各种磨轮和不同的抛光材料，如金刚石浆料、抛光垫、研磨膜和微磨料。F-REX300配备了一个强大的变频驱动器和一个降压装置，以保持所有RPM的最大扭矩。这台机器确保了一个一致和有效的研磨过程，同时也防止了晶圆的过重压力。它包括一个变速液压工具，用于快速精确的晶圆定位。资产还具有用于控制外部冷却模型的输出。F-REX 300有一个框架几何设计，以尽量减少振动和维持晶圆表面平坦度。该设备配有基板支架、研磨头和研磨臂，用于晶圆的高效研磨和研磨。它具有多种安全功能,例如集成的E-stop,可在出现任何问题时快速停止机械。总体而言，EBARA F-REX300是一种用于精密晶圆加工的可靠、高效的晶圆研磨、研磨和抛光系统。它能够高效处理各种晶圆尺寸和材料，重复精度小于1微米。此外,该设备还具有多种安全功能,以确保安全的操作环境。