二手 EBARA Frex 300 #9163556 待售

EBARA Frex 300是由EBARA公司生产的自动化晶圆研磨、研磨和抛光设备。它是一种台式机器,专为处理较小的晶圆尺寸而设计,使客户能够利用EBARA Group先进的磨损工艺技术。EBARA FREX-300可以磨削、搭接、抛光甚至热敏且难以处理的晶片,表面光洁度优越,变形最小。F-REX300采用桌面设计，配备机械臂，可实现高速、精确的操作。手臂可以从底座倾斜，获得各种材料和晶圆尺寸的最佳研磨角度。F-REX 300还包括一个保持大气压并防止过程中污染的载荷锁定室。磨削过程在密封不锈钢容器内进行，该容器利用精密控制的磨料浆料将晶片表面磨削至所需的表面光洁度。砂浆进料和研磨垫的转速都是可调的，允许通用的研磨和抛光策略。此外，磨床的顶盖可以很容易地关闭并安装有几个真空配件。这有助于创造一个安全的环境，同时最大限度地提高表面光洁度质量。研磨过程是在精密控制研磨表面的闭环系统内完成的。该装置有能力根据研磨后的表面光洁度对晶片进行分级。通过流体控制，研磨工艺可以实现单面或双面晶圆抛光以及多个研磨循环。抛光过程采用可调节的液体供应和剂量。Frex 300设计了一种密封的抛光室，以防止抛光过程中的任何污染。它也可以在有或没有真空的情况下操作，从表面清除任何不需要的颗粒。EBARA F-REX 300是晶圆研磨、研磨和抛光的理想机器,可提供卓越的表面光洁度和最小变形。它使客户能够利用创新的EBARA公司先进的磨损工艺技术。