二手 EBARA Frex 300 #9224087 待售
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已售出
ID: 9224087
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
CMP System, 12"
Factory interface (FI)
Frame config: Metro
Polisher (L/R):
Polishing heads: 300mm AL Head, Gen. II
Endpoint: TCM & Friction
Platen type: Ceramic (SIC)
Platen speed: 10-150 RPM
Platen pad conditioner:
Scan dresser disc, 4”
Sweep driven
Slurry delivery: CLC Delivery
Slurry line 1: ASAHI 25-250 ml/min (Low flow rate)
Platen cooling flow monitor: TOKYO KEISO
Platen cooling temp monitor: User configurable alarm settings
Dresser DIW flow meter: Flow range 1.0-1.5 L/min
Atomizer
Cleaner:
Cleaner 1 type: Roller brush
Chemical delivery type: Chemical CLC 0.0-1.0 L/min (Alarm capability)
Chemical 1 Upper flow meter: 0.0-1.0 L/min
Chemical 1 Lower flow meter: 0.0-1.0 L/min
Spin rinse drier: Pencil brush
Chemical delivery type: Chemical CLC 0.0-1.0 L/min (Alarm capability)
Options:
Robot D / R / L: YASKAWA
Status lamp (RYGB, Front / Rear)
Monitor 1: Front
Monitor 2: Left side
Monitor 3: Right side
EPD Monitor: Right side
Communication:
Controller (Logic): VME
Controller (Process database): Touch panel
Hard disk not included
2004 vintage.
EBARA Frex 300是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备，用于生产用于电子工业的薄平晶圆。该系统采用先进的数控技术，对研磨、研磨和抛光工艺进行精确控制。过程中的第一步是晶圆的研磨，用圈轮进行。膝盖轮由高精度步进电机驱动，允许极其精确的研磨水平。第二步是晶圆的研磨，用滚珠轴承研磨板完成。研磨过程的速度和压力由一个复杂的伺服控制单元控制，从而确保以最佳的质量实现所需的结果。第三步也是最后一步是晶圆的抛光，用金刚石抛光垫完成。金刚石抛光垫由无刷直流电机驱动，允许半自动抛光工艺。该电机的设计旨在提高工艺效率，并提供高质量的精加工。机器配有视觉工具，用于检查晶圆的形状和光洁度。视觉资产与精密数控运动控制模型集成在一起，允许对晶圆进行极其精确的操纵。数控设备还能够调整研磨、研磨、抛光工艺的速度，确保达到理想的效果。EBARA FREX-300的设计目的是安全、高效地运行,并且操作人员的干预最少。该系统配备了几个安全功能，如电子互锁门、紧急停止按钮和精密的机器监控系统。该单元还配备了一系列确保最佳性能的功能，如高精度步进电机、强大的无刷直流电机、精密数控运动控制系统等。F-REX300还具有用户友好的图形用户界面,使操作员能够根据需要轻松调整和微调设置。
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