二手 EBARA Frex 300 #9244969 待售

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ID: 9244969
优质的: 2002
CMP System Standard head Integrated cleaner: Stage 1: (2) Roll / Roll sponges Stage 2: (2) Pencil sponges / SRD (2) Tables per tool Polish head per table Missing parts 2002 vintage.
EBARA Frex 300是用于微电子和光伏应用的最先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备。它由全球领先的先进材料精密加工解决方桉供应商EBARA Downstream Technology (EDT)设计和制造。此三轴加工系统具有内置的砂轮主轴和高效的抛光器/拉珀,可快速准确地获得结果。它的刚性结构保证了高精度和重复性,使其适合从最精致的晶片挤出最大的性能。可用于磨削直径从6英寸到300毫米的晶片。该单元适用于广泛的材料,如硅、石英、蓝宝石、玻璃、陶瓷和石英基电子。其强大的设计适用于大批量生产吞吐量,其卓越的生产率和成本效益有助于将不必要的成本和浪费降至最低。该机配备了最新的线性和旋转运动系统,以及改进工艺产量和节省材料的先进软件解决方桉。为了保证精确的结果,它配备了双光补偿工具,补偿不同的形状误差和角度设置。EBARA FREX-300还配备了专门的收集单元和智能除尘,最大限度地减少维护和停机时间。其他高级功能包括智能应变监控资产以提高可靠性,以及高级7英寸彩色液晶图形用户界面,可简化操作。此外,该模型还具有先进的人体工程学特征,如360度旋转磨头易于操作,减振可提高精度,可调速度和温度控制可优化生产效果。其集成的振动监测设备进一步确保了操作平稳,降低了操作过程中的振动。F-REX300是一种精密晶圆研磨、研磨和抛光的可靠高效的机器。它是生产高质量、低成本、降低报废率和提高生产吞吐量的理想解决方桉。
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