二手 EBARA Frex 300 #9252531 待售

EBARA Frex 300是一款高性能晶圆研磨、研磨和抛光设备，旨在满足先进半导体行业的苛刻要求。它是一个非常精确和可靠的系统，包括一个最先进的磨头，集成了一个强大的运动单元，先进的控制软件和一系列复杂的研磨和抛光配件，以确保在一系列基材上一致和可重复的结果。EBARA FREX-300的磨头装有一个专有的金属键金刚石磨轮，能够以优异的表面质量、精度和吞吐量进行单步磨削操作。这个轮子能够容纳不同大小和类型的晶片，并且可以调整间隙大小以适应不同的晶片厚度。磨头还提供垂直集成的伺服轴和旋转轴，以实现高度精确的调整，并且它有一个5轴驱动机对运动进行微调控制。F-REX300集成的高级软件允许复杂的周期规划和流程设置,这些设置可以在工具上进行调整和存储。这允许在各种应用中使用广泛的研磨和抛光配方，让操作员为其具体应用找到最佳选择。该资产还具有基于PLC的控制模型，确保磨削和抛光过程保持一致。此外，F-REX 300还配备了一套研磨和抛光配件，使其能够进行精细的抛光操作。这些配件包括一系列抛光泡沫、毛毡和纸张，可用于实现不同的晶粒尺寸和饰面。此外，该设备还包括金刚石浆料注入系统和复合分配器，以方便精磨、研磨和抛光操作。总之，Frex 300是一个功能强大、用途广泛的研磨、研磨和抛光装置，为先进的半导体材料和元件提供了精度、通量和可重复性。其全面的研磨、研磨和抛光配件套件使其在行业中具有显着优势,使其能够以最佳的表面光洁度产生高度精确的结果。