二手 EBARA Frex 300 #9384477 待售
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ID: 9384477
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
CMP System, 12"
STI
Polisher (Right / Left)
Cleaner
Dryer
Missing parts:
Front end robot
Load port
2004 vintage.
EBARA Frex 300是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,设计用于在包括硅、砷和石英晶圆在内的所有材料上进行临界300 mm晶圆研磨、研磨和抛光。EBARA FREX-300易于使用,并配备了自动化晶圆制备技术的最新进展。F-REX300具有全自动晶片处理系统,确保了晶片的快速、准确的制备。它配备了强大的研磨、研磨和抛光模块,能够在晶圆上产生高度精确的表面光洁度。它利用高速旋转的高精度主轴进行研磨、研磨和抛光。此外,F-REX 300还配备了可变研磨方向单元,可有效去除物料。使用可变研磨方向机,EBARA F-REX 300可以很容易地处理圆形和非圆形晶片。FREX-300还配备了自动感应和自动循环功能。自动感测特征的工作原理是检测正在处理的晶片的类型及其大小和厚度。这确保晶片将根据其特定特性在最佳参数内进行处理。自动循环特性允许晶片从晶片装载托架精确高效地转移到研磨、研磨和抛光室,反之亦然。Frex 300专为提高生产力和效率而设计。它能够在相同的工艺循环中处理大小晶片。它可以一次处理多个晶圆,每个循环最多10个晶圆。此外,EBARA F-REX300还设计用于低磨损、减少维护和延长使用寿命。在安全性方面,EBARA Frex 300具有晶圆处理和处理的5级安全工具。此外,该资产还配备了符合人体工程学设计的托盘,使其易于使用。这样可以防止在加载和卸载过程中手动处理晶片造成任何潜在的伤害。总体而言,EBARA FREX-300是一种可靠高效的晶圆研磨、研磨和抛光模型.它专为单晶圆和多晶圆加工而设计,同时也实现了高精度和精确度。F-REX300的特点使其成为大容量晶圆生产的完美解决方桉。
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