二手 EBARA Frex 300 #9390393 待售

EBARA Frex 300是一款先进的晶圆研磨、研磨、抛光设备，设计用于进行无缺陷、高精度、高均匀度晶圆的制备。该系统的创新技术提供了精密研磨、低损伤晶圆调节的组合,以增强表面均匀性,以及与其他加工步骤的简单集成。利用一套先进的过程控制和自适应边界控制技术，该单元将大大缩短晶圆调节过程的总循环时间。EBARA FREX-300配备0.25 µm单轴级、闭环控制、三点支撑、先进真空机等等。这可以实现高精度和高精度的表面抛光,同时还提供改进的晶圆离线放置和工艺可重复性。此外，该工具还可以使用自适应磨削、研磨和抛光模块实现多步骤加工的自动化。资产的主要部件包括磨削和研磨头、抛光头、两个手动和两个电动旋转阶段、抛光膜、压板和抛光溶液。通过将磨削和抛光头与两个手动和两个电动旋转级相结合，模型可以将抛光膜、压板、抛光溶液同时应用到晶圆上。这样可以最大程度地减少总循环时间,并确保均匀、高精度、高精度的调节。F-REX300还具有独特的自适应边界控制模块。该模块通过根据晶圆加工条件动态调整磨削、研磨、抛光窗口的极限，有效地缩短了整个循环时间。这样可以确保低损伤晶片调节、高工艺重复性和可靠的晶片离线放置。该设备可集成到各种工业过程中，如蚀刻、抗蚀剂去除、涂层和光刻。所有这些过程都可以使用Frex 300轻松实现。此外，自适应边界控制模块可以通过软件编程来控制过程边界，为用户提供完整的自动化过程自动化。EBARA F-REX300是一种先进的晶圆研磨、研磨、抛光系统，旨在提供高精度和优异的表面均匀性，同时仍提供工艺自动化。其自适应边界控制模块降低了循环时间和过程难度，同时进一步优化了晶圆调节。从调整流程限制到控制多个流程,FREX-300对于寻求业界领先和可靠结果的用户来说是一个极好的工具。