二手 EBARA Frex 300e #293742057 待售
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ID: 293742057
优质的: 2006
CMP System
Dual module system
High throughput
Dry in / out system
Single head
2006 vintage.
EBARA Frex 300 e是一种自动化的高精度晶圆研磨、研磨和抛光设备，旨在为半导体、MEMS和LED器件行业中的各种基板提供卓越的表面光洁度、平整度和尺寸精度。该系统将最高的研磨精度与研磨和抛光功能结合在一起,为各种关键设备组件提供所需的精度。Frex 300 e的独特之处在于其先进的"多步"工艺，消除了磨轮痕迹，确保了光滑的光洁度。优选的研磨工艺也可用于直接从没有研磨等级的研磨中制造研磨晶片，如果需要的话。EBARA Frex 300 e的研磨和抛光阶段由两组电机控制独立控制，允许对研磨和抛光循环进行同步和独立的控制。抛光台具有平磨和表面研磨的能力。磨削/研磨/抛光装置配有3轴可编程表，允许晶圆研磨、研磨和抛光操作，无需手动操作。3轴表覆盖了广泛的工作区域（10mm-150mm）。在线GCP机器允许Frex 300 e实时监控和调整参数，使用户能够为每个晶圆制造作业优化研磨/研磨/抛光工艺。为了提供卓越的精密表面光洁度，该机采用了特殊的金刚石磨轮，以最小的磨削达到卓越的表面光洁度。金刚石磨轮经过专门设计，在装置表面提供一致、均匀的砂砾轮廓。EBARA Frex 300 e利用适当的多步研磨工艺在严格公差范围内实现尺寸和光学精度曲面。该工具还包括液冷研磨/研磨/抛光机构和数字PID温度控制资产。这使机器能够在相同的加工时间内提供卓越的冷却效果和更快的研磨/研磨/抛光速度。该模型的设计架构还设计为便于升级和定制，因此用户可以跟上半导体和器件行业的最新技术和趋势。总体而言,Frex 300 e是一种自动化的高精度晶圆研磨、研磨和抛光设备,它将高级研磨精度与研磨和抛光功能结合在一起,为任何晶圆制造工作提供所需的精度。该系统配备了多种功能和特性,使用户能够以最短的时间、精力和成本实现卓越的精度。
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