二手 EBARA Frex 300S #293591998 待售

EBARA Frex 300S
ID: 293591998
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
CMP Systems, 12" Function control test 2006 vintage.
EBARA Frex 300S是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,设计用于陶瓷和晶体材料的精密加工。它在短处理时间内提供了可靠且可重复的结果,使其成为大批量制造先进元件的理想生产系统。该单元具有模块化结构,使其能够配置为满足任何给定应用程序的特定要求。主要部件包括晶圆托架、转盘、两个研磨板、抛光垫和伺服控制驱动机。晶片载体设计用于在研磨和研磨过程中牢固地固定和定位晶片。它配有耐热保护片,在研磨高热膨胀材料时有额外的保护作用。此外,它还具有强大的设计,以确保在长时间的生产运行中保持有效。转盘负责在晶圆磨碎时旋转.它由连接到驱动带的强大电动机组成,使转盘能够以0.7至2000 rpm的速度旋转。转盘可以调整以适应晶片的尺寸,并在加工过程中提供均匀的运动。这两个研磨板设计用来研磨和拉紧晶片。研磨板有多种材料可供选择,以便适合正在加工的材料。这些板由高级铝合金制成,可承受高达35MPa的高压。抛光垫用于将晶片材料抛光至精细光洁度。它由一个光滑、耐刮擦的表面组成,可以承受较大的载荷并提供高光泽的光洁度。最后,伺服控制的驱动工具提供了对加工过程的精确控制,确保加工参数达到所需的精度水平。资产还包括一个伺服控制的温度补偿模型,它根据材料的温度自动调整操作参数。综上所述,EBARA FREX300S是一种用途广泛、可靠的晶圆研磨、研磨和抛光设备,设计用于在短处理时间内提供精确和可重复的结果。它具有模块化的构造,使其适合广泛的应用,并配备了坚固的机械架构,具有长期的可靠性。
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