二手 EBARA Frex 300S #293625791 待售
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EBARA Frex 300S是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备。它是一个完全自动化的数控系统，能够生产多晶体、多级和定制模式的半导体晶片。该单元配备了6轴运动机、数字视频显微镜、闭环位置和压力伺服器，以及带有精密端效应器的专用机械臂。EBARA FREX300S旨在保持高水平的圆度、表面平整度和晶圆厚度精度。该刀具采用可调节压力和进料控制的磨料磨削/抛光头,使操作员能够最大程度地控制加工工艺参数。机械臂可以在研磨过程中精确定位和处理晶圆。F-REX300S还提供了先进的研磨工艺，以确保高度的抛光精度。此过程包括将晶片锯成初始形状,然后将其磨削成成品尺寸。这一阶段的过程是通过磨削/抛光头的圆形运动来完成的，而皮带磨床提供了高精度的精加工。EBARA FREX-300 S具有优异的表面光洁度和晶圆均匀性.它配备了数字视频显微镜和光谱仪，用于监测表面质量、粒子分析和形状轮廓。该资产还与各类抛光化合物和金刚石级悬浮浆液兼容。总体而言,EBARA FREX 300 S提供了高水平的自动化、准确性和晶圆质量控制,这对于将半导体制造过程中的缺陷率降至最低至关重要。F REX 300 S以先进的研磨和研磨技术相结合，在高质量半导体晶片的开发和制造方面是行之有效的行业领导者。
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