二手 EBARA Frex 300S #9095701 待售

EBARA Frex 300S是一种高精度晶圆研磨、研磨和抛光系统,旨在确保分层半导体晶圆上产生超光滑、无缺陷的表面。它由一系列模组製造，包括Grinder、Lapper、Polisher和Water Soluble Grinding Aid，提供湿法和干法加工的完整加工选项。Grinder模块采用先进的工程解决方桉，如带有电机扭矩控制的调节主轴和高精度的阶梯式变速箱，在多种材料上实现优化和可重复的研磨工艺。它还受到热保护,确保了可重复和可靠的性能。Lapper模块使用振荡台式驱动器和细粒磨料来生产均匀清洁的晶圆表面。抛光器模块通过使用抛光垫消除表面发现的任何缺陷或不规则性来提高晶片的表面光洁度。水溶性研磨辅助模块有助于通过使用水溶性糊剂减少与反复清洁和维护研磨机和研磨机相关的时间和成本。EBARA FREX300S配备了非接触式位移和位移传感器等高级测试解决方桉，以及工艺传感器，以确保准确和可预测的结果。它被CE标记和UL列出，并且能够与多种电源一起运行，包括日本通用（JPN）和韩国通用（KOR）型号。它具有用户友好的图形用户界面（GUI），使操作员易于编程和控制。F-REX300S是需要精确度和可靠性的半导体制造设施的理想选择。它的模块化设计、先进的工程解决方桉和用户友好的界面,使其成为寻求高效可靠的晶圆研磨、研磨和抛光系统的制造商的理想选择。